製品特徴

1つのプラットフォームで多様な材料に対応

化学気相成長法(CVD)と化学気相含侵法(CVI)

CVDでは、ガスが固体基材の表面で反応し、優れた耐熱性、耐薬品性、耐摩耗性を備えた緻密なセラミックコーティングまたは自立型モノリスを成膜します。
CVD(化学気相成長)装置は、気体前駆体の化学反応を通じて、さまざまな基板上に薄膜、コーティングおよびバルク材料を製造するために使用されます。これらの炉は、均一な堆積を促進し、汚染を最小限に抑えながら生成される材料の品質を向上させるために真空条件下で動作します。CVDは以下に依存します。
　• 化学反応
• 反応器のタイプと形状
• プロセスパラメータ（温度、圧力、流量および時間）
• 質量および熱移動
• 速度論および熱力学

化学気相含侵法（CVI）は、炭素/炭素（C/C）、炭素/炭化ケイ素（C/SiC）複合材、SiC/SiCなどの高性能セラミックマトリックス複合材（CMC)を製造するための、確立された専門的な製造技術です。このプロセスは化学気相成長（CVD）と密接に関連していますが、多孔質の繊維強化基材向けに特化して適用されます。

CVIプロセスでは、まず炭素繊維布や炭化ケイ素繊維マットのような多孔質プリフォームを高温反応炉内に配置します。
次に、チャンバー内を排気し、温度を通常 800～1,200℃ にします。
これらの条件が整うと、メタン、MTCS、または水素などの反応性ガス混合物がチャンバーに導入されます。
ガスはプリフォームの細孔構造の奥まで浸透し、内部の繊維表面に接触すると分解または反応します。
この反応により固体のセラミック層が形成され、材料内部に徐々に蓄積していきます。
プロセスは、必要な緻密化レベルと望ましい残留気孔率に達するまで、何時間、場合によっては何日も続けられます。

PVA MPA Industrie社が扱う材料は、一般的な耐摩耗膜から超高温材料まで広範囲に及びます。これまでに多くのプロセスと装置が、下記のような先端コーティング材料のために顧客向けに開発されてきました。

・TiC, TiN, Ti(C,N)
・PyC, SiC, B4C, TiB2, BN, B, Al2O3, AlN
・W, Re, ZrC, TaC, HfC
・DLC, ZnS,ZnSe
・Doped aluminizing
・TCO

多くのカスタマイズに対応

研究用から産業スケールに至るまで多くのカスタマイズに対応します。標準装置では対応しにくい特殊形状や大型部品についても、お客様の仕様に合わせてリアクターを設計できます。

高いエンジニアリング能力
すべてのサブシステムが社内ワークショップで内部設計・製造されており、完全な技術管理とトレーサビリティを実現しています。

堅牢な安全設計
MPA Industrieの装置は、機能安全に基づいた多層防御アーキテクチャを採用しており、緊急停止・インターロック・ガス検出・温度/圧力/流量の連続監視など、ハードウェアレベルで包括的な安全機構を備えています。
例えば万一の過圧時にも3段階のオーバープレッシャー保護（安全弁による即時排気 → 段階的二次排気 → 保護リングによる投射物防護）が順次作動し、装置・作業者・設備を確実に守ります。
すべての異常はアラームログに記録・追跡可能であり、視覚・聴覚警報と自動遮断機能が組み合わさることで、機器の安全性と現場オペレーターの安心を高い水準で両立しています。

優れた制御・監視システム
世界トップクラスメーカーのPLCを採用し、50種類以上の工程プログラムを登録・自動実行できるため、熟練オペレーターでなくても安定した操作が可能です。TIAシステムおよびHMIを備えた制御盤手動または完全自動モードに対応する完全インターロックシステムです。
温度・圧力・ガス流量などすべての運転データを1秒単位でリアルタイム記録し、工程の「見える化」と長期トレーサビリティを標準で実現します。
タッチスクリーンによる直感的な操作画面と充実したデータ管理機能により、日々の生産管理から品質記録まで、現場の負担を大幅に軽減します。

CVD/CVI技術に関する深い知見と豊富な実績

PVA MPA industrie社は35年にわたるCVD/CVI技術の設計・製造の経験を有しています。CAD部門,電気およびプロセス制御部門スタッフ全員が豊富な実績を有しています。同社は、必要なシステム部品を個別に設計・供給できるほか、特殊なCVDリアクターに関する技術評価やコンサルティングにも対応しています。
PVA MPA Industrieは、CVD装置を構成するすべての主要部分について、技術と専門知識を有しています。
-特殊ガス供給システム、液体または固体前駆体(プリカーサー)の取り扱い
-あらゆる活性化技術（熱、プラズマ）に対応した反応炉の製造
-真空技術
-CVDに関するコンサルティング
-EEC規格に適合した排出ガス処理
-危険性分析に基づく計装、制御、安全システム
-原子力環境向けCVDシステム