製品概要

従来の常圧リフローでは、はんだ内に残るボイド領域は20%程度あるため、接合強度の劣化を招きます。本リフロー炉では、ボイド領域を2％未満に低減することが可能です。本装置では、真空およびガス雰囲気(フォーミングガス、100%水素)を活用することで、フラックスレス・ボイドレスのリフローを可能にします。また、酸化膜除去の還元剤として蟻酸の使用、その他MWプラズマの併用も可能です。鉛フリーはんだ、プリフォームはんだにおいてもフラックスを使用しないリフローを実現します。

操作性の良いタッチパネル方式を採用しており、プロセスデータの編集、保存が容易にできます。また、EthernetやUSBインターフェースにより、プリンターや外部メモリの接続、リモートアクセスサービスの利用が可能です。

スループット比較

有効プレートサイズ：540×410 mm
► c.VACUNITE180 3枚
► c.VACUNITE300　　5枚　※写真

プレートサイズの比較

寸法

技術データ

オプション

・ 水素(100%)ガスライン　セーフガードレベル2
・ 蟻酸(HCOOH)バブラー　セーフガードレベル1
・ サンプル表面温度モニター用熱電対(6点対応)
・ 高温仕様モデル：～750℃
・ 自動スライディングドア

製品メーカー案内

Centrotherm international AG社（ドイツ）は、1958年に設立された熱処理炉専門の世界的メーカーです。

真空リフロー炉はじめ、拡散炉、酸化炉、ランプアニール炉、LPCVDなど豊富なラインナップを取り揃えており、太陽電池や半導体分野の大手企業、および国際的な研究機関に対して、最新技術を集結させた各種装置を提供しています。

日本国内では、2006年から伯東株式会社が総代理店として同社製品の販売と保守サービスを担ってきました。SiCパワーデバイスやMEMSセンサーをはじめとした大手デバイスメーカーの量産シーンで多数実績があります。