Hakuto

ブレイクスルーを起こす先端製品のご提案半導体・MEMS プロセス装置

リフロー炉

R&D、少量生産対応モデル

セントロサーム

c.VACUNITE24

“C.VACUNITE24”は、先端パッケージ、パワーセミコンダクター向けに設計され、高い加熱・冷却レートを実現しております。真空リフロー装置を必要とされているR&D関連のお客様のみならず、少量生産志向のお客様にもご要望にもお応えできる製品です。

ボイドレス・フラックスレス・ウルトラクリーン

Centrotherm international AG社(ドイツ)のバッチ式真空リフロー炉「c.VACUNITEシリーズ」は、鉛含有はんだ、鉛フリーはんだ、プリフォームに対応しており、フラックスレス、ボイドレスリフローが可能です。

高品質はんだ接合向けに、フォーミングガスや100%水素を用いたガス還元方式、蟻酸(を用いたウェットケミカル還元方式、MWプラズマを用いたプラズマ還元方式にも対応しております。R&Dから量産用途まで各種ラインナップを取り揃えております。

製品概要

従来の常圧リフローでは、はんだ内に残るボイド領域は20%程度あるため、接合強度の劣化を招きます。本リフロー炉では、ボイド領域を2%未満に低減することが可能です。 本装置では、真空およびガス雰囲気(フォーミングガス、100%水素)を活用することで、フラックスレス・ボイドレスのリフローを可能にします。また、酸化膜除去の還元剤として蟻酸の使用、その他MWプラズマの併用も可能です。鉛フリーはんだ、プリフォームはんだにおいてもフラックスを使用しないリフローを実現します。

操作性の良いタッチパネル方式を採用しており、プロセスデータの編集、保存が容易にできます。また、EthernetやUSBインターフェースにより、プリンターや外部メモリの接続、リモートアクセスサービスの利用が可能です。

寸法/スペック/オプション

寸法

スペック

オプション

・ 水素(100%)ガスライン セーフガードレベル2
・ 蟻酸(HCOOH)バブラー セーフガードレベル1
・ MWプラズマ[2.45GHz]
・ サンプル表面温度モニター用熱電対(6点対応)
・ プレート上部ヒーター

製品メーカー案内

Centrotherm international AG社(ドイツ)は、1958年に設立された熱処理炉専門の世界的メーカーです。

真空リフロー炉はじめ、拡散炉、酸化炉、ランプアニール炉、LPCVDなど豊富なラインナップを取り揃えており、太陽電池や半導体分野の大手企業、および国際的な研究機関に対して、最新技術を集結させた各種装置を提供しています。

日本国内では、2006年から伯東株式会社が総代理店として同社製品の販売と保守サービスを担ってきました。SiCパワーデバイスやMEMSセンサーをはじめとした大手デバイスメーカーの量産シーンで多数実績があります。

 

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