TRIBUS SYSTEM 社製 PVD システム

トリバス　システム

SURPASS P200 ®

TRIBUS SYSTEM社はアプライドマテリアル社製EnduraⓇPVDシステムのリファービッシュ専門会社であるSemicat社の完全子会社です。SEMICAT社でのリファービッシュ品・オリジナル製品の開発/提供実績を基に、2020年に設立し、新たなPVDシステム(SURPASS P200®)を2021年より製造・販売をしております。
製品リリース後には国内外の半導体メーカー様でのご採用数は増加しております。

SERIES LINEUP

シリーズラインナップ

オリジナルPVDシステム

SURPASS P200®

150/200mmのウェハーサイズに対応したPVDシステムです。Buffer & Transfer RobotにてDual Blade採用。Windowsベースにてシステム制御

先進的な技術開発

Research & Developmet

メーカー独自のプロセス開発をしており、新たなニーズに対応した厚膜Alプロセス、RFスパッタリング等を開発

コンサルティングサービス

Consulting Service

お客様のご要望に沿ったプロセス提案が可能です。ご要望によってデモのご相談も承っております。

製品特徴

①生産性/歩留まり向上

①Dual Blade Robot
Buffer ＆ Transfer Chamber用Robot にDual Blade 仕様を採用することにより、スループットの向上ができます。

②Auto Wafer Centering System
　各Chamber 入口に設置されたセンサーにより、Chamber間の移動時に発生するWaferのズレ補正をすることによって、
　Waferの落下が防止され、歩留まり向上

②Enduraと同等性能保証

プロセスに関わる主要部品はEndura®と共通の為、プロセス保証付きです。

③CoolKAT

TRIBUS社製オリジナル品の高速Al厚膜用チャンバーではAMAT純正チャンバー(STD-Al)と同等のフィルム性能のまま、
アンチスティッキング(ESC仕様)、高速Al厚膜成膜(※)が可能で、スループット向上が見込めます。
※AMAT 純正品のSTDチャンバー比で約2倍の速度での成膜を実現します。

※SURPASS P200®　及び　CoolKATはメーカーでデモ機を保有しておりますので、デモ検証からご検討いただけます。
　プロセス相談も承っておりますので、お気軽にお問い合わせください