製品特徴

Endura®　-高い普及率と拡張性-

Endura®は半導体業界の歴史で大きな成功を収め、最も普及しているPVD装置です。信頼性・保守性・柔軟なチャンバー構成を兼ね備えており現在においても使用率・稼働率の高い装置として知られています。多層配線では金属表面のゴミ、コンタミによる接触抵抗の問題をクラスターツールにより解決してきた歴史があります。

　 　※ Endura®はアプライドマテリアルズ社の登録商標です  ※ Endura® is a registered trademark of Applied Materials

プロセス保証、デモンストレーションの付帯

Semicat社は一般的なAS-IS、中古再生サービスのみの会社ではありません。
通常は対応できない中古ご購入前のデモンストレーション、評価からご購入後のプロセス保証までを付帯させることで単なる中古再生サービスの枠を超えたサービスを提供します。デモ機を常設することで中古再生装置でありながらEndura®をお持ちでないお客様にも安心して購入、選定頂ける環境を整えています。

高速厚膜Al用オリジナルチャンバー　”CoolKAT”

CoolKAT™は、Endura® platformで品質の良い厚膜Alを高速で成膜が可能なSemicat社オリジナルの厚膜Alプロセスチャンバーです。Endura®標準のAl用チャンバと比較しスパッタレート約2倍の高速成膜が可能で更にCOO（Cost Of Ownership）に優れ、ランニングコストの低減に寄与します。