リフロー炉
量産用 真空リフロー炉
伯東株式会社
インライン型 真空リフロー炉
(ボイドレス/フラックスフリー)
伯東製 真空リフロー炉HVRシリーズは、ワーク搬送をロボットにより完全⾃動化したインライン型装置でありながら、はんだリフロープロセス（還元・はんだ溶融・冷却）を一括で行えるモジュール方式です。本装置はCCコンポジットヒーターと独⾃の冷却機構を⽤いることで急速加熱・急速冷却を可能にし、同一チャンバー内処理でありながら量産ラインに最適な設計を実現しました。
製品特徴
・全自動のインライン型真空リフロー装置
・予備加熱～冷却までワーク移動なく高速処理
自動搬送機構を標準装備し真空リフロー工程を完全自動化
装置特徴
- 最大加熱温度450℃（真空中・不活性ガス雰囲気）
- CCコンポジットヒーターと独自の冷却機構を用いることで急速加熱・急速冷却を実現
- フラックス回収機構を標準装備
- 電子天秤によるギ酸残量管理およびオートリフィル機構を装備
- ワーク自動搬送ロボット
– XYZθ軸単軸ロボット組み合わせ
– 加減速速度： 0.1G 以下
– 繰り返し位置決め精度 ±0.01 ㎜
– ワーク確認カメラ： 200万画素CCDカメラ
主な能力
最大プロセス温度： 450℃（真空）
最大加熱レート： 8℃/sec
最大冷却レート： 5℃/sec （450→150℃ 60秒程度）
プレート内均熱性： ±3℃＠300℃
