解析波長が広い(DUV～NIR)分光エリプソ
センテック インスツルメンツ
分光エリプソメーター SENresearch4.0
SENresearch4.0 / SENTECH Instruments GmbH
SENresearch4.0は、解析波長範囲が190nm(DUV)~3,500nm(NIR)と非常に広い分光エリプソメーターです。回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の回転方式、[Step Scan Analyer](SSA方式)を採用し、薄膜測定の精度向上を実現しています。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、改版を重ねSpectraRay/4となっています。このソフトウェアは解析用の[対話モード]と繰り返し測定用に便利な[レシピモード]があります。また、膜厚の均一性評価に役立つ膜厚分布の自動測定も行えます。
SERIES LINEUP
シリーズラインナップ-
工程管理に適した自動化システム
SENDURO®MEMS
分光エリプソとC to C ウェーハ搬送機構(100mm, 150mm, 200mm)及び自動XYステージを組み合わせ、品質管理(膜厚、光学定数)の自動化システム
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赤外分光エリプソメーター(FTIR)
SENDIR(FTIR)
薄膜の組成分析に、赤外スペクトルにおける分子振動モードの吸収を用いることができます。赤外分光エリプソメーター(FTIR)によりキャリア・コンセントレーション測定も可能です。
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エリプソと光反射干渉一体化システム
CER SE500adv
レーザーエリプソと光反射干渉とを一体化し、膜厚解析の周期性を判別可能となりました。透明膜厚~25μmに対応しています。
製品特徴
解析波長が広い分光エリプソメーター
解析波長は190nm(DUV)~3,500nm(NIR)、ユーザーの要求に応じた波長で解析が行えます。
ステップ スキャン アナライザー(Step Scan Analyzer)
Step Scan Analyzer方式はエリプソメトリーで最も重要な偏光強度測定において、検光子が回転することによる測定への影響を最小にしています。一般的な偏光強度測定では検光子の回転ムラが測定強度の微小変動を招き、回転に伴う微弱な振動による光学部品の微小な振動が測定値に影響します。これらの要因が測定結果の再現性を悪化させてしまいます。Step Scan Analyzer方式は検光子をステップ回転(一定角度ごとに回転)させ、偏光強度測定時に逐次停止させます。従って、検光子の回転ムラ、及び回転に伴う微弱振動が光学部品に及ぼす影響、ともに最小化され、再現性の良い測定を実現しています。また、測定対象膜の表面粗さを考慮した解析が正確に行えます。
膜厚分布測定
自動ステージと組み合わせることにより、膜厚の面内分布、均一性評価の自動測定が可能です。更に、フォーカス調整とチルト調整の自動化も可能です。
SpectraRay/4解析ソフトウェア
センテック インスツルメンツが独自開発している解析ソフトウェアです。SpectraRay/4は、操作方法が直観的にわかるように設計されています。膜厚、光学定数(屈折率、消衰係数)を解析するときに利用する「ステップ バイ ステップ式(GUI)」の対話モードと繰り返し作業に適した「3ステップ式(レシピ選択、測定実行、結果表示)]のレシピモードの両方ともに標準で備わっています。
