Hakuto

ブレイクスルーを起こす先端製品のご提案半導体・MEMS プロセス装置

スパッタ成膜(PVD/CVD)

AMAT社 Endura®(中古再生/プロセス保証)

セミキャット

Endura® リファブ装置

Endura®5500 / Endura®II

Semicat社は半導体・MEMS・LEDの製造工程に向けたプロセス装置の中古再生を専門とするリファービッシュ会社です。
アプライドマテリアルズ(AMAT)社のEndura®PVD(物理蒸着)システムに特化して市場展開しています。ライナーバリア・Alインターコネクト・ホットAlなど、Endura®プラットフォームで利用可能なすべてのPVDおよびCVD(化学蒸着)に対応し、 Endura®5500とEndura®II、どちらもリファービッシュ対応可能です。これまでに全世界でSystemとして100台以上、Chamber単体では300台以上の納入実施があります。
※ Endura®はアプライドマテリアルズ社の登録商標です
※ Endura® is a registered trademark of Applied Materials

SERIES LINEUP

シリーズラインナップ

製品特徴

Endura® -高い普及率と拡張性-

Endura®は半導体業界の歴史で大きな成功を収め、最も普及しているPVD装置です。信頼性・保守性・柔軟なチャンバー構成を兼ね備えており現在においても使用率・稼働率の高い装置として知られています。多層配線では金属表面のゴミ、コンタミによる接触抵抗の問題をクラスターツールにより解決してきた歴史があります。

   ※ Endura®はアプライドマテリアルズ社の登録商標です  ※ Endura® is a registered trademark of Applied Materials

プロセス保証、デモンストレーションの付帯

Semicat社は一般的なAS-IS、中古再生サービスのみの会社ではありません。
通常は対応できない中古ご購入前のデモンストレーション、評価からご購入後のプロセス保証までを付帯させることで単なる中古再生サービスの枠を超えたサービスを提供します。デモ機を常設することで中古再生装置でありながらEndura®をお持ちでないお客様にも安心して購入、選定頂ける環境を整えています。

高速厚膜Al用オリジナルチャンバー ”CoolKAT”

CoolKAT™は、Endura® platformで品質の良い厚膜Alを高速で成膜が可能なSemicat社オリジナルの厚膜Alプロセスチャンバーです。Endura®標準のAl用チャンバと比較しスパッタレート約2倍の高速成膜が可能で更にCOO(Cost Of Ownership)に優れ、ランニングコストの低減に寄与します。

APPLICATION

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